名前
集束イオンビーム (Focused Ion Beam)
装置一般名称
集束イオンビーム (FIB-SEM)
メーカー
株式会社日立ハイテクノロジーズ
型番
NB5000
センター名
i-REC
設置場所
工学部附属工学研究機器センター・3階・306室
特徴・性能
概要：試料表面の特定領域を研削加工
　　　特定領域へのC, Wの成膜やプローブによる試料の採取
　　　FIB加工中および加工後の試料の高分解能SEM観察が可能
　　　反射電子検出器およびEBSD検出器も備え持つ
成果
 
管理者
山室　賢輝
内線
3518
問い合わせ先
erec@tech.kumamoto-u.ac.jp
学内使用料金
年間ユーザー登録（グループ単位）：120,000円/年　6,000/日(AM10:00～翌日AM10:00)
学外使用料金
応相談　※担当者までお問い合わせください。
予約
※予約は学内からのみ可
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