名前
金スパッタリング・カーボン蒸着装置
装置一般名称
金スパッタリング・カーボン蒸着装置
メーカー
株式会社日立ハイテクノロジーズ
型番
E-1010
センター名
i-REC
設置場所
工学部附属工学研究機器センター・3階・301室
特徴・性能
EPMA等試料前処理装置（イオンスパッタ）
概要：非導電性物質観察時のチャージアップ防止
　　　ターゲット材料（金，白金，カーボン）を試料表面にコーティング
成果
 
管理者
佐藤　徹哉
内線
3879
問い合わせ先
erec@tech.kumamoto-u.ac.jp
学内使用料金
金スパッタ：100円/分（スパッタ時間で清算）　カーボン蒸着：100円/回（蒸着回数で清算）
学外使用料金
応相談　※担当者までお問い合わせください。
予約
※予約は学内からのみ可
※予約は別サイトへ移行します